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J-GLOBAL ID:200903048023989237

固体撮像装置およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 宮井 暎夫
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992326649
Publication number (International publication number):1994174914
Application date: Dec. 07, 1992
Publication date: Jun. 24, 1994
Summary:
【要約】【目的】 紫外線などの光線による光学特性の劣化を低減し固体撮像装置の信頼性向上と製品寿命の延長を図る。【構成】 固体撮像素子1中の凹型フォトダイオード2の上部にゲル状ガラス材料で形成された可視光透過率の高いSiO2 透明平坦膜3を設け、さらにSiO2 透明平坦膜3の上部に同じく可視光透過率の高いゲル状ガラス材料を用いて半楕円形SiO2 マイクロレンズ4を設けている。
Claim (excerpt):
凹型受光部を有する固体撮像素子の上面に無機透明平坦膜を設け、前記無機透明平坦膜の上面で前記凹型受光部に対応する位置に凸型半楕円形集光無機マイクロレンズを設けた固体撮像装置。
IPC (2):
G02B 5/20 101 ,  H01L 27/14
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (7)
  • 特開平4-073968
  • 特開平4-001602
  • 特開昭58-224310
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