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J-GLOBAL ID：200903048070677928
すすぎ浴剤に溶解している液剤の再生方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森本 義弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993159878
Publication number (International publication number)：1994226245
Application date： Jun. 30, 1993
Publication date： Aug. 16, 1994
Summary：
【要約】【目的】 閉循環路において、すすぎ浴剤へ送り込まれた溶解性の液剤を前記すすぎ浴剤から分離させ、かつこの液剤を上流の浴剤へ返送させるための方法を提供することである。【構成】 この目的のために、すすぎ浴剤から溶解性の液剤を分離させて高濃度液剤を抽出し、すすぎ浴剤へ送り込まれていたこの高濃度液剤を溶剤と共に上流の浴剤へ返送させ、そこで薄膜技術に基づいてこの溶剤を分離させる。
Claim (excerpt)：
第1槽18に高濃度の液剤10を入れ、第2槽20にはそれより低濃度に液剤10が溶解したすすぎ浴剤12を入れ、かつ一方の液剤の沸騰点、好ましくは第2槽のすすぎ浴剤12の沸騰点を他方の液剤の沸騰点、好ましくは溶解している液剤10の沸騰点よりも低く設定した、すすぎ浴剤に溶解している液剤の再生方法であって、低濃度に液剤10が溶解しているすすぎ浴剤12を第1の循環路36に循環させ、前記第1循環路36に分離手段40を設け、前記分離手段にて、溶解している液剤10をすすぎ浴剤から分離し、かつ分離手段40で得られた前記液剤10を第1槽へ返送することを特徴とするすすぎ浴剤に溶解している液剤の再生方法。
IPC (4)：
C02F 1/04
, B01D 61/14 500
, B08B 3/14
, H05K 3/26
