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J-GLOBAL ID：200903048091643810

加工装置および装置制御方法

Inventor： 大河内 浩幾
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 伊東 哲也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001332668
Publication number (International publication number)：2003143762
Application date： Oct. 30, 2001
Publication date： May. 16, 2003
Summary：

【要約】【課題】 生産性を低下させることなく、半導体製造工場の電力供給設備の小容量化を可能にし、半導体製造工場の電力供給設備の供給能力に応じた最適な生産性をもたらす製造システムとしての加工装置および装置制御方法を提供する。【解決手段】 制御部6と、切換器3と、本体部5と、電流整流器7と、電力供給設備1等の電源を本体部5の各ユニットA、B、Cの電源へと変換する電源部4とを備え、設備供給設備1からの電源を蓄電して電源部4に供給する蓄電池8と、消費電力上限値を設定する手段とを有し、消費電力が予め測定した装置の消費電力プロファイル情報より装置の消費電力が消費電力上限値を超過する場合、制御部6および切換器3により電源部4への給電を電力供給設備1の電源から蓄電池8へと切り換える。

Claim (excerpt)：

電力供給設備から給電されて作動する加工装置であって、前記電力供給設備から給電されて蓄電する蓄電手段と、前記電力供給設備および前記蓄電手段から給電されて当該加工装置内の各負荷に給電する電源部と、前記電力供給設備から給電される電力の上限値を設定する手段と、予め測定した当該加工装置の消費電力プロファイル情報より当該加工装置の消費電力が前記上限値を超過するタイミングでは超過する電力以上の電力を前記蓄電手段から前記電源部へ供給する制御手段と、を具備することを特徴とする加工装置。

IPC (2)：

H02J 3/32 ,  H02J 7/34

FI (2)：

H02J 3/32 ,  H02J 7/34 A

F-Term (8)：

5G003AA01 ,  5G003BA01 ,  5G003DA07 ,  5G003DA17 ,  5G003DA18 ,  5G066HB09 ,  5G066JA03 ,  5G066JB03