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J-GLOBAL ID：200903048109797489

位置検出装置及びそれを用いた加工機

Inventor： 斉藤 謙治
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997150072
Publication number (International publication number)：1998326740
Application date： May. 23, 1997
Publication date： Dec. 08, 1998
Summary：

【要約】【課題】 ナノメートル以下の位置検出も可能な分子原子レベルの高精度な位置検出を可能とする位置検出装置及びそれを用いた加工機を得ること。【解決手段】 物体面上に設けたアライメントマークに照明手段から励起光を照射し、該アライメントマーク近傍に励起された近接場光をプローブを利用して検出することによって該物体の位置情報を検出していること。

Claim (excerpt)：

物体面上に設けたアライメントマークに照明手段から励起光を照射し、該アライメントマーク近傍に励起された近接場光をプローブを利用して検出することによって該物体の位置情報を検出していることを特徴とする位置検出装置。

IPC (6)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 11/30 ,  G01N 37/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/66

FI (6)：

H01L 21/30 525 E ,  G01B 11/00 A ,  G01B 11/30 Z ,  G01N 37/00 D ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/66 J