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J-GLOBAL ID：200903048159207496

リニアモータ、これを用いたステージ装置や露光装置、ならびにデバイス製造方法

Inventor： 大石 伸司
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997272617
Publication number (International publication number)：1999113239
Application date： Oct. 06, 1997
Publication date： Apr. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】 速度ムラの生じない高精度なリニアモータを提供すること。【解決手段】 電磁駆動力によって磁石とコイルとが相対移動するリニアモータにおいて、該コイルは複数のコイルを並列に結線した並列コイルであり、該磁石と該並列コイルの相対移動時に発生する逆起電流の大きさが、各コイルでほぼ等しくなるように該並列コイルを構成することを特徴とする。コイルは同心で積層した複数のコイルを並列に結線した並列コイルであり、該複数のコイルはそれぞれ巻数が異なり、対向する磁石の磁束密度にほぼ反比例した巻数を持っている。

Claim (excerpt)：

電磁駆動力によって磁石とコイルとが相対移動するリニアモータにおいて、該コイルは複数のコイルを並列に結線した並列コイルであり、該磁石と該並列コイルの相対移動時に発生する逆起電流の大きさが、各コイルでほぼ等しくなるように該並列コイルを構成することを特徴とするリニアモータ。

IPC (4)：

H02K 41/03 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (5)：

H02K 41/03 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 515 F ,  H01L 21/30 515 G