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J-GLOBAL ID：200903048165265988

サーボ型変位センサ

Inventor： 野村 章博 ,  山下 慎次 ,  浜松 弘 ,  小宮 剛彦
Applicant, Patent owner： 株式会社安川電機
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997331233
Publication number (International publication number)：1999148815
Application date： Nov. 14, 1997
Publication date： Jun. 02, 1999
Summary：

【要約】【課題】 加速度信号を二回積分する操作の必要性がなく、安価で、ノイズの影響を受けにくいサーボ型変位センサを提供する。【解決手段】 振動対象物に設置されたセンサ本体1の内部に設けた支持バネ2と、支持バネ2上に支持された重錘3と、センサ本体1と重錘3の間の相対変位を検知する検知器4と、重錘3を負荷として駆動する電磁アクチュエータ5と、を備えたサーボ型変位センサにおいて、支持バネ2が受ける力を打ち消すように支持バネ2のバネ定数を電磁アクチュエータ5の推力定数で除した値を乗じる変位帰還用増幅器15と、直流近傍の周波数成分のみを通過させるローパスフィルタ17と、ローパスフィルタ信号帰還用増幅器18と、ローパスフィルタ信号帰還用増幅器18の出力信号から変位帰還用増幅器15の出力信号を差動増幅する加算器16を設けたサーボ回路11を有する。

Claim (excerpt)：

振動する対象物である被測定面に設置されたセンサ本体と、このセンサ本体の内部に前記被測定面側から鉛直方向に伸びるように立設された支持バネと、この支持バネの上に支持された重錘と、前記センサ本体と前記重錘の間の相対変位を検知する検知器と、前記センサ本体と前記重錘の間に挿入され前記重錘を負荷として駆動する電磁アクチュエータと、前記検知器から得られる相対変位の信号を前記電磁アクチュエータに帰還するようにしたサーボ回路とを備えたサーボ型変位センサにおいて、前記サーボ回路は、前記重錘の相対変位により前記支持バネが受ける力を打ち消すように前記支持バネのバネ定数を前記電磁アクチュエータの推力定数で除した値を乗じる変位帰還用増幅器を設けたことを特徴とするサーボ型変位センサ。

IPC (4)：

G01B 21/00 ,  G01B 7/00 ,  G01H 1/00 ,  G01H 11/06

FI (4)：

G01B 21/00 G ,  G01B 7/00 A ,  G01H 1/00 B ,  G01H 11/06