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J-GLOBAL ID：200903048184244053

所定表面形状を有する物品の製造方法

Inventor： 南 努 ,  辰巳砂 昌弘 ,  忠永 清治 ,  松田 厚範 ,  堀 雅宏 ,  中村 浩一郎 ,  山本 博章
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社 ,  南 努
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000049387
Publication number (International publication number)：2001240800
Application date： Feb. 25, 2000
Publication date： Sep. 04, 2001
Summary：

【要約】【課題】 成形型の完全転写と、数十μmオーダの深さを持つ厚膜パターニングを可能にし、さらに、クラックの発生を防止し、高い膜硬度を有する、成形型の表面形状を反転させた形状の表面を有する膜が被覆された、所定表面形状を有する物品を提供する。【解決手段】 ゾルゲル材料を基材と成形型との間に密着させて膜状に配置し、ついで加熱して前記成形型の表面形状を反転させた形状の表面を有するゲル化膜が基材表面に被覆された、所定表面形状を有する物品の製造方法において、前記ゾルゲル材料が、R1SiX3(R1はアルキル基または水素であり、そしてXはアルコキシル基またはハロゲン原子)で表されるシラン化合物、およびR2SiY3(R2はアリール基または置換アリール基であり、Yはアルコキシル基またはハロゲン原子)で表されるシラン化合物を含有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

ゾルゲル材料を基材と成形型との間に密着させて膜状に配置し、ついで加熱して前記成形型の表面形状を反転させた形状の表面を有するゲル化膜が基材表面に被覆された、所定表面形状を有する物品の製造方法において、前記ゾルゲル材料が、(A) 下記式(1)で表されるシラン化合物、その加水分解物、およびその加水分解縮重合物からなる群より選ばれた少なくとも1種の化合物、【化1】R1SiX3 ・・(1)ここでR1はアルキル基または水素であり、そしてXはアルコキシル基またはハロゲン原子である、および(B) 下記式(2)で表されるシラン化合物、その加水分解物、およびその加水分解縮重合物からなる群より選ばれた少なくとも1種の化合物、【化2】R2SiY3 ・・(2)ここでR2はアリール基または置換アリール基であり、Yはアルコキシル基またはハロゲン原子である、を含有することを特徴とする所定表面形状を有する物品の製造方法。

IPC (5)：

C09D183/04 ,  C08G 77/22 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 ,  C03C 17/30

FI (7)：

C09D183/04 ,  C08G 77/22 ,  G02B 1/04 ,  G02B 3/00 Z ,  G02B 3/00 A ,  C03C 17/30 A ,  C03C 17/30 B

F-Term (26)：

4G059AA01 ,  4G059AA11 ,  4G059AC09 ,  4G059AC16 ,  4G059FA22 ,  4G059FB05 ,  4J035BA11 ,  4J035CA022 ,  4J035CA152 ,  4J035EA01 ,  4J035LB01 ,  4J035LB03 ,  4J038DL031 ,  4J038DL041 ,  4J038DL071 ,  4J038JA17 ,  4J038JC31 ,  4J038JC32 ,  4J038KA04 ,  4J038KA06 ,  4J038MA08 ,  4J038NA01 ,  4J038NA11 ,  4J038NA17 ,  4J038PB08 ,  4J038PC03