マイクロマニピュレータ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：恩田博宣
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995291503
Publication number (International publication number)：1997131173
Application date： Nov. 09, 1995
Publication date： May. 20, 1997
Summary：

【要約】【課題】力の検出感度を良くするとともに、そのばらつきを抑えることが可能なマイクロマニピュレータを提供する。【解決手段】マニピュレータ11を構成する支持部材12,13の先端に、拡散歪みゲージ17及び薄肉部16を形成した単結晶シリコンよりなる指部材15を取着した。マニピュレータ11によって対象物Wを挟んだ時に、指部材15は、薄肉部16の部分で撓み、その撓みによる応力としてのマニピュレータ11の力を拡散歪みゲージ17が検知して撓みに応じた電気信号を検出信号として出力する。

Claim (excerpt)：

微小な対象物(W)をハンドリングするためのマイクロマニピュレータであって、前記対象物(W)をハンドリングする一対のアーム(A1,A2)と、前記一対のアーム(A1,A2)のうち少なくとも一方の先端に、前記対象物を把持し、その力を検知する力センサを備えたマイクロマニピュレータ。

IPC (3)：

C12M 1/00 , B25J 7/00 , G02B 21/32

FI (3)：

C12M 1/00 A , B25J 7/00 , G02B 21/32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

検査用ピンセット装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-324019 Applicant：安心院幸敬

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