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J-GLOBAL ID：200903048226391337

カラーフィルターの製造方法

Inventor： 山内 哲也
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 梅田 勝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996136532
Publication number (International publication number)：1997318809
Application date： May. 30, 1996
Publication date： Dec. 12, 1997
Summary：

【要約】【課題】 液晶パネルサイズの大型化に伴う露光精度の低下を抑え、高価なフォトマスクを必要とせず、液晶パネルの仕様変更にも容易に対応できるカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】 レーザー発振部1から照射されたレーザー光2をX方向に走査する。レーザー光2は、ポリゴンミラーによって斜めに走査する。この斜めの走査に同調し、レーザー光2がガラス基板3上に形成された感光膜4全面を走査するように、ガラス基板3を固定しているステージ5をY方向に移動する。このとき、所望する露光パターンに応じてレーザー光2をオン、オフする。このようにして、カラーフィルターのパターニングを行う。

Claim (excerpt)：

着色剤として顔料を用い、前記顔料をバインダー樹脂中に分散させた着色樹脂を所定のパターンに形成するカラーフィルターの製造方法において、前記着色樹脂上にフォトレジスト膜を形成する工程と、前記フォトレジスト膜にレーザー光を用いて所定のパターンを描画して感光させる工程と、前記フォトレジスト膜を現像する工程と、前記着色樹脂を所定のパターンに加工する工程とを有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。

IPC (3)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 26/10 ,  G02B 26/10 102

FI (3)：

G02B 5/20 101 ,  G02B 26/10 B ,  G02B 26/10 102