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J-GLOBAL ID：200903048251719304

チャックテーブル

Inventor： 山本 裕三
Applicant, Patent owner： 花王株式会社
Agent (1)： 塩川 修治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996278551
Publication number (International publication number)：1998109242
Application date： Oct. 01, 1996
Publication date： Apr. 28, 1998
Summary：

【要約】【課題】 チャック部の損傷等のトラブル発生に対し、その対処を低コストにて実施できるようにすること。【解決手段】 カーボン基板1の基板本体1Aを固定するチャックテーブル33において、テーブル本体34に複数のチャック部35が配置され、このチャック部が多孔質構造の金属材料又は無機材料にて構成されて、上記基板本体を負圧により吸着可能とすると共に、チャック部がテーブル本体に対し着脱可能に設置されたものである。

Claim (excerpt)：

被加工物を固定するチャックテーブルにおいて、テーブル本体に複数のチャック部が配置され、このチャック部が多孔質構造の金属材料又は無機材料にて構成されて、上記被加工物を負圧により吸着可能とすると共に、上記チャック部が上記テーブル本体に対し着脱可能に設置されたことを特徴とするチャックテーブル。

IPC (4)：

B23Q 3/08 ,  B24B 37/04 ,  B24B 41/06 ,  B25J 15/06

FI (4)：

B23Q 3/08 A ,  B24B 37/04 E ,  B24B 41/06 L ,  B25J 15/06 M