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J-GLOBAL ID：200903048299846650
加速度フィードバック付き微動位置決め装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992321484
Publication number (International publication number)：1994151272
Application date： Nov. 06, 1992
Publication date： May. 31, 1994
Summary：
【要約】【目的】 位置決め動作を安定化させ、外乱に対する強度や位置決め速度を向上させる。【構成】 並進1自由度と回転2自由度で位置決めされる平板状の基板を、ほぼ同心円上に設けた3個のアクチュエ-タで駆動するとともに、このアクチュエ-タの駆動は、前記アクチュエ-タ近傍に設けた3個の位置センサの各出力を外部からの指令電圧と比較して偏差信号を得、これに基づき、前置増幅器およびプログラマブルゲイン要素を介して電力増幅器を励磁し、その出力電流で行なうようにした微動位置決め装置において、前記各アクチュエ-タの近傍で前記基板の加速度を検出し、これに適切な時定数とゲインを付与して前記電力増幅器の入力に負帰還させる加速度フィ-ドバック回路を備える。また、さらに適切な時定数を有するローパスフィルタを介して電力増幅器を励磁するものである場合は、加速度フィ-ドバック回路は、適切なゲインを有する増幅器を介して加速度検出器の出力をローパスフィルタの入力側に負帰還させるように構成する。
Claim (excerpt)：
並進1自由度と回転2自由度の位置決めがなされる平板状の基板と、この位置決めのためにほぼ同心円上に配置され前記基板を駆動する3個のアクチュエ-タと、前記アクチュエ-タ近傍において前記基板の変位を計測する3個の位置センサと、前置増幅器、プログラマブルゲイン要素、および電流出力タイプの電力増幅器を備え、前記位置センサの各出力を外部からの指令電圧と比較して偏差信号を取得し、この偏差信号に基づき、前記前置増幅器およびプログラマブルゲイン要素を介して前記電力増幅器を励磁し、その出力電流により前記アクチュエ-タを駆動するフィ-ドバック装置とを備えた微動位置決め装置において、前記各アクチュエ-タの近傍で前記基板の加速度を検出する加速度センサと、この加速度センサの出力を電気信号に変換する加速度検出器と、適切な時定数とゲインを有するロ-パスフィルタを備え、これを介して前記加速度検出器の出力を前記電力増幅器の入力側に負帰還させる加速度フィ-ドバック回路とを具備することを特徴とする加速度フィ-ドバック付き微動位置決め装置。
IPC (5)：
H01L 21/027
, B23Q 1/02
, G03F 9/00
, H01L 21/68
, H01L 41/09
H01L 21/30 311 J
, H01L 41/08 U
