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J-GLOBAL ID：200903048300884472

複合圧電物質製造方法及び複合圧電物質製造用マスク

Inventor： 竹内 康人
Applicant, Patent owner： ジーイー横河メディカルシステム株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996147248
Publication number (International publication number)：1997330864
Application date： Jun. 10, 1996
Publication date： Dec. 22, 1997
Summary：

【要約】【課題】 LIGAプロセスによって所定の構造を有する複合圧電物質を製造する際にX線マスクに要する費用を低く抑えることが可能な複合圧電物質製造方法及びその複合圧電物質製造用マスクを実現する。【解決手段】 シンクロトロン放射X線で露光,現像して複合圧電物質をリソグラフィにより製造する複合圧電物質製造方法であって、シンクロトロン放射X線で露光する際に使用するマスクとして電鋳法により作製された規則的なパターンを有する金網を使用することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

シンクロトロン放射X線で露光,現像して複合圧電物質をリソグラフィにより製造する複合圧電物質製造方法であって、シンクロトロン放射X線で露光する際に使用するマスクとして金網を使用することを特徴とする複合圧電物質製造方法。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  H01L 41/22

FI (2)：

H01L 21/30 531 M ,  H01L 41/22 Z