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J-GLOBAL ID：200903048310630304
シリコン単結晶引き上げ装置及びこれに用いる引き上げ用容器
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994166846
Publication number (International publication number)：1996026881
Application date： Jul. 19, 1994
Publication date： Jan. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】この発明は、シリコン単結晶引き上げ装置の保温筒及び引き上げ用容器の黒鉛容器を改良して、良好なシリコン単結晶の引き上げが長期にわたって安定して行えるようにしたシリコン単結晶引き上げ装置を得ようとするものである。【構成】チャンバー内にシリコン単結晶引き上げ用容器を回転自在に支持して該容器内にシリコン原料を装填し、該容器外周に設けられたヒータで加熱し、該ヒータ外周に設けられた保温筒で保温しながら該容器内のシリコン原料を溶融し、この溶融したシリコンの融液に上方から回転自在に吊下された種結晶を浸してこれを引き上げる装置において、シリコン単結晶引き上げ用容器として黒鉛容器の内側に炭素繊維強化炭素材シートをわん曲して形成した筒状体を介して石英ガラス容器を嵌め込んだ容器を用い、さらに保温筒の少なくとも内周面に、炭素繊維強化炭素材シートをわん曲して形成した円筒体を挿入して密着したことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
チャンバー内にシリコン単結晶引き上げ用容器を回転自在に支持して該容器内にシリコン原料を装填し、該容器外周に設けられたヒータで加熱し、該ヒータ外周に設けられた保温筒で保温しながら該容器内のシリコン原料を溶融し、このシリコン融液に上方から回転自在に吊下された種結晶を浸してこれを引き上げる装置において、保温筒の少なくとも内周面に炭素繊維強化炭素材シートをわん曲して形成した円筒体を挿入したことを特徴とするシリコン単結晶引き上げ装置。
IPC (4)：
C30B 15/14
, C30B 15/12
, C30B 29/06 502
, H01L 21/208
