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J-GLOBAL ID：200903048319105520
表面状態検査方法及びそれを用いた表面状態検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992316563
Publication number (International publication number)：1994148086
Application date： Oct. 30, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：
【要約】【目的】 レチクル面上に付着したゴミや埃等の異物の有無を回路パターンと弁別して検出することができる表面状態検査方法及びそれを用いた表面状態検査装置を得ること。【構成】 照明系から射出した周波数が異なり、かつ互いに振動面が直交する2つの偏光を含むビームを分岐手段で第1ビームと第2ビームの2つのビームに分岐し、このうち該第1ビームを第1検出器に導光して第1ビート信号を作成し、該第2ビームを金属性光遮光部でパターニングした光透過性の基板の非パターン面側から入射させ、パターン面からの反射光を第2検出器に導光して第2ビート信号を作成し、該第1ビート信号と第2ビート信号との位相差を位相差検知手段により求めることにより、該基板のパターン面の表面状態を検査したこと。
Claim (excerpt)：
照明系から射出した周波数が異なり、かつ互いに振動面が直交する2つの偏光を含むビームを分岐手段で第1ビームと第2ビームの2つのビームに分岐し、このうち該第1ビームを参照光として第1検出器に導光して第1ビート信号を作成し、該第2ビームを信号光として金属性光遮光部でパターニングした光透過性の基板の非パターン面側から入射させ、パターン面からの反射光を第2検出器に導光して第2ビート信号を作成し、該第1ビート信号と第2ビート信号との位相差を位相差検知手段により求めることにより、該基板のパターン面の表面状態を検査したことを特徴とする表面状態検査装置。
IPC (2)：
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