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J-GLOBAL ID：200903048320889195

光学部品形成方法

Inventor： ニコラ・プーリアノ ,  クレイグ・エス・アレン
Applicant, Patent owner： ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ,エル.エル.シー.
Agent (2)： 千田 稔 ,  橋本 幸治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004097127
Publication number (International publication number)：2005092177
Application date： Mar. 29, 2004
Publication date： Apr. 07, 2005
Summary：

【課題】光学部品、例えば、導波路、フィルター、光学相互接続器、レンズ、回折格子およびその他の部品を形成するための方法を提供する。【解決手段】 光学部品を形成するいくつかの方法がもたらされている。これらの方法は、(a)有機・無機ハイブリッド型ポリマーと光活性成分とを含み、第1屈折率と第1溶解速度とを有しているフォトイメージャブル組成物の層を、基体を覆って形成し、その後、(b)化学線を用いる多光子吸収によって、前記の層の所定体積部分を露光し、それによって、その体積部分に、(i)前記第1屈折率とは異なる第2屈折率および/または(ii)前記第1溶解速度とは異なる第2溶解速度をもたらすことを含むものである。これらの方法には、光導波路および他の光学部品の形成における特別な適応性がある。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

(a)有機・無機ハイブリッド型ポリマーと光活性成分とを含むフォトイメージャブル組成物の層であって、第1屈折率と第1溶解速度とを有している当該層を、基体上に形成し、さらに (b)化学線を用いる多光子吸収によって、前記の層の所定体積部分を露光し、それによって、その体積部分に、(i)前記第1屈折率とは異なる第2屈折率および/または(ii)前記第1溶解速度とは異なる第2溶解速度をもたらす ことを含む光学部品の形成方法。

IPC (4)：

G02B6/12 ,  G02B5/18 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075

FI (4)：

G02B6/12 N ,  G02B5/18 ,  G03F7/004 521 ,  G03F7/075 511

F-Term (29)：

2H025AA10 ,  2H025AB14 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BD54 ,  2H025BE00 ,  2H025CB33 ,  2H025FA17 ,  2H047KA04 ,  2H047PA02 ,  2H047PA22 ,  2H047PA28 ,  2H047QA05 ,  2H049AA33 ,  2H049AA41 ,  2H049AA59 ,  2H049AA62 ,  4J246AA03 ,  4J246AB01 ,  4J246AB13 ,  4J246BA020 ,  4J246BA120 ,  4J246BB022 ,  4J246CA230 ,  4J246CA240 ,  4J246CA250 ,  4J246CA260 ,  4J246CA270 ,  4J246HA16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 国際公開番号WO 01/96917 A2パンフレット