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J-GLOBAL ID：200903048332287697

ジンバル機構を備えた転写装置及び同装置を用いる転写方法

Inventor：
小久保 光典

About 小久保 光典

, 
奥山 浩司

About 奥山 浩司


Applicant, Patent owner：
東芝機械株式会社

About 東芝機械株式会社


Agent (7)： 三好 秀和 ,  岩▲崎▼ 幸邦 ,  中村 友之 ,  川又 澄雄 ,  伊藤 正和 ,  高橋 俊一 ,  高松 俊雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005356600
Publication number (International publication number)：2007160565
Application date： Dec. 09, 2005
Publication date： Jun. 28, 2007
Summary：
【課題】 型を保持するためのフレキシブルな素材に代えてジンバル機構を採用して構造をシンプルにすると共に、押し付け力や温度変化等による位置ずれをより小さく抑える。【解決手段】成形用の基板を搭載するテーブル11と、転写用の型41をテーブル11の面側に固定保持する型保持体と、型保持体を一方の面側に保持すると共に他方の面側に凸球面部を形成してなるジンバル部材201と、前記凸球面部と対接する凹球面部を形成したジンバル部材203と、前記ジンバル部材203を保持しテーブル11の面に対し進退可能な可動体19と、弾性体255を用いて、前記ジンバル部材201の姿勢を調整保持する姿勢調整及び保持手段とを有する転写装置である。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
以下の構成を有することを特徴とする、ジンバル機構を備えた転写装置、 (a)成形用の基板を搭載するテーブル; (b)同テーブル面に対向して配置された転写用の型を前記テーブル面の側に固定保持する型保持体; (c)前記型保持体を一方の面側に保持すると共に他方の面側に凸球面部を形成してなる第1のジンバル部材; (d)前記第1のジンバル部材の凸球面部と対接する凹球面部を形成した第2のジンバル部材; (e)前記第2のジンバル部材を保持し、前記テーブル面に対し進退可能な可動体; (f)前記可動体を進退駆動せしめる可動体駆動手段; (g)弾性体、流体圧シリンダの少なくともいずれかを用いて、前記第1のジンバル部材の姿勢を調整保持する姿勢調整及び保持手段。
IPC (4)：
B29C 59/02 ,  H01L 21/027 ,  B29C 43/36 ,  B29C 33/30
FI (4)：
B29C59/02 Z ,  H01L21/30 502D ,  B29C43/36 ,  B29C33/30
F-Term (28)：
4F202AF01 ,  4F202AG01 ,  4F202AG05 ,  4F202AP01 ,  4F202AR20 ,  4F202CA09 ,  4F202CA19 ,  4F202CB01 ,  4F202CK43 ,  4F202CL17 ,  4F202CL42 ,  4F202CR06 ,  4F209AC03 ,  4F209AD05 ,  4F209AD08 ,  4F209AG01 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PC01 ,  4F209PC05 ,  4F209PN13 ,  4F209PN20 ,  4F209PQ11 ,  4F209PQ20 ,  5F046AA28 ,  5F046CC13
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • 微小型押成形装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-190094   Applicant：株式会社エリオニクス
Cited by examiner (3)

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