Pat

J-GLOBAL ID：200903048332769144

イオン注入装置の被イオン注入部材固定装置

Inventor： 吉田 治 ,  矢野 孝幸 ,  金谷 正敏
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 八田 幹雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995214860
Publication number (International publication number)：1997063531
Application date： Aug. 23, 1995
Publication date： Mar. 07, 1997
Summary：

【要約】【課題】 イオン注入時におけるクランプピンからの発塵を防止すると共に、その強度にすぐれ、導電性のあるクランプピンを用いたイオン注入装置の被イオン注入部材固定装置を提供する。【解決手段】 イオン注入される被イオン注入部材11を載置する載置台51と、該載置台の端部に突出し、該被イオン注入部材を把持するためのクランプピン1,2と、を有するイオン注入装置の被イオン注入部材固定装置において、前記クランプピン1,2がSiC単結晶よりなることを特徴とするイオン注入装置の被イオン注入部材固定装置。

Claim (excerpt)：

イオン注入される被イオン注入部材を載置する載置台と、該載置台に載置された該被イオン注入部材を保持するための保持手段と、を有するイオン注入装置の被イオン注入部材固定装置において、前記被イオン注入部材固定装置の少なくとも前記被イオン注入部材と接触する部分がSiC単結晶よりなることを特徴とするイオン注入装置の被イオン注入部材固定装置。

IPC (3)：

H01J 37/317 ,  H01L 21/265 ,  H01L 21/68

FI (3)：

H01J 37/317 B ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/265 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭59-086147
  
• 特開昭59-150534