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J-GLOBAL ID：200903048335771077

石英ガラス製濾過装置

Inventor： 白石 耕一 ,  安藤 久爾子 ,  高橋 研司
Applicant, Patent owner： 東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 須山 佐一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993021059
Publication number (International publication number)：1994226020
Application date： Feb. 09, 1993
Publication date： Aug. 16, 1994
Summary：

【要約】【目的】 不純物イオン、ダストが非常に少ない高品質の半導体プロセスなどに使用される気体および薬液や純水などの液体が得られる石英ガラス製濾過装置を提供することを目的とする。【構成】 液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置において、前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラスから成ることを特徴とする石英ガラス製濾過装置、もしくは、前記濾過部が保温されていることを特徴とする石英ガラス製濾過装置

Claim (excerpt)：

液体を気体にする気化部、濾過を行う濾過部、気体を液化させる液化部からなる濾過装置において前記各部と被濾過流体の経路部が、すべて石英ガラスから成ることを特徴とする石英ガラス製濾過装置。

IPC (6)：

B01D 39/20 ,  B01D 35/18 ,  B01D 46/24 ,  B01D 46/42 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/304 341