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J-GLOBAL ID：200903048336137835

露光装置の環境条件制御装置

Inventor： 中小路 佳史 ,  楢木 剛
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993014420
Publication number (International publication number)：1994232022
Application date： Feb. 01, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：

【要約】【目的】 露光装置内における感光基板の静電気帯電量を保守管理することなく減少させる。【構成】 高い精度部品の保守管理を有する露光処理部は例えば40%以下の低い湿度環境に、また感光基板を収納するバッファカセット及び基板搬送部は静電気の減少に有利な例えば50〜60%の湿度環境にそれぞれ維持すべく、チャンバーを、露光処理部8を収納する第1のチャンバー1と、バッファカセット18a、18bと基板搬送部17とを収納する第2のチャンバー10と、で構成し、各チャンバーを独立して湿度制御する。

Claim (excerpt)：

基板の露光処理部と基板搬送部とをチャンバー内に設け、前記チャンバー内の環境を所望の環境条件に制御する露光装置の環境条件制御装置において、前記チャンバーを、環境条件を独立して制御できる前記露光処理部のための第1のチャンバーと前記基板搬送部のための第2のチャンバーとに分離し、前記第1のチャンバーと前記第2のチャンバーとに前記チャンバー内の温度、湿度、清浄度を制御するための環境制御手段をそれぞれ設けると共に、前記第1のチャンバーと前記第2のチャンバーとの間に、基板の搬送用の扉を設けたことを特徴とする環境条件制御装置。

IPC (3)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

FI (2)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 301 H