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J-GLOBAL ID：200903048354864728

高比抵抗液体の液質監視方法、その液質監視装置、及びその液質監視システム

Inventor： 仲野 陽
Applicant, Patent owner： 株式会社フロンテック
Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994283830
Publication number (International publication number)：1996145947
Application date： Nov. 17, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】 高比抵抗液体の使用点においても測定可能な高比抵抗液体の液質監視方法、その液質監視装置、及びその液質監視システムを提供する。【構成】 本発明の高比抵抗液体の液質監視方法は、高比抵抗液体を流すために用いる配管部において、該高比抵抗液体が接触する該配管部の一部が、少なくとも該配管部と電気的に絶縁された導電性部材から構成されており、該導電性部材からなるセンサー部の帯電量を検出することを特徴とする。また、高比抵抗液体を取り出す使用点近傍又は使用点端部に、前記センサー部を設けることを特徴とする。さらに、前記センサー部と接地点との電荷移動量を測定することにより帯電量を検出することを特徴とする。本発明の高比抵抗液体の液質監視装置は、上述した高比抵抗液体の液質監視方法を有することを特徴とする。本発明の高比抵抗液体の液質監視システムは、警告を発する警告手段を有することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

高比抵抗液体を流すために用いる配管部において、該高比抵抗液体が接触する該配管部の一部が、少なくとも該配管部と電気的に絶縁された導電性部材から構成されており、該導電性部材からなるセンサー部の帯電量を検出することを特徴とする高比抵抗液体の液質監視方法。

IPC (2)：

G01N 27/60 ,  C02F 1/00