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J-GLOBAL ID：200903048384203904

プラズマ電極用カバー

Inventor： 森影 達也 ,  萩原 克佳
Applicant, Patent owner： 川崎マイクロエレクトロニクス株式会社
Agent (1)： 渡辺 望稔 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001293188
Publication number (International publication number)：2003100713
Application date： Sep. 26, 2001
Publication date： Apr. 04, 2003
Summary：

【要約】【課題】低コストでプラズマからプラズマ発生用電極を保護することができるプラズマ電極用カバーを提供する。【解決手段】本発明のプラズマ電極用カバーは、側壁によって囲まれた凸部と、凸部の周囲に側壁を介してつながる略平坦な周辺部とを有するプラズマ生成用電極の周辺部を覆うものであり、プラズマ生成用電極の凸部の側壁に近接する部分を覆う内周部と、内周部の外側に組み合わされるリング状の外周部とに分割されている。また、内周部が周方向に分割された複数の部分からなり、複数の部分が組み合わされることによって、プラズマ生成用電極の凸部の側壁に隣接するリング状の内周部が形成されている。

Claim (excerpt)：

側壁によって囲まれた凸部と、該凸部の周囲に該側壁を介してつながる略平坦な周辺部とを有するプラズマ生成用電極に対して一定の位置関係で取り付けられ、該電極の周辺部を覆うプラズマ電極用カバーであって、周方向に分割された複数の部分からなり、該複数の部分が組み合わされることによって前記側壁に隣接するリング状の内周部が形成されることを特徴とするプラズマ電極用カバー。

IPC (3)：

H01L 21/3065 ,  C23C 16/44 ,  C23C 16/509

FI (3)：

C23C 16/44 J ,  C23C 16/509 ,  H01L 21/302 C

F-Term (13)：

4K030DA04 ,  4K030FA03 ,  4K030GA02 ,  4K030KA12 ,  4K030KA14 ,  5F004AA16 ,  5F004BA04 ,  5F004BB18 ,  5F004BB22 ,  5F004BB30 ,  5F004BB32 ,  5F004BC02 ,  5F004BC03