熱電変換素子及びその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：舘野千惠子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006185364
Publication number (International publication number)：2008016592
Application date： Jul. 05, 2006
Publication date： Jan. 24, 2008
Summary：

【課題】簡便な工程でp型、n型エレメントの微細成形が可能な熱電変換素子の製造方法を提供し、該製造方法により製造された熱電変換素子を提供する。【解決手段】シリコン基材21a上に形成された感光性樹脂層に対してパターニング露光及び現像を行って、前記感光性樹脂層に所定パターンで配列された細孔24bを形成する工程と、無酸素雰囲気での加熱により前記感光性樹脂層を焼成してグラッシーカーボン層22cとする工程と、グラッシーカーボン層22cの細孔24bにp型またはn型の熱電材料11a,12aを充填した後に焼成して前記p型エレメントとなる焼成体11bまたはn型エレメントとなる焼成体12bを形成する工程と、グラッシーカーボン層22cを酸化処理により除去して前記焼成体11b、12bを露出させる工程と、を備える。【選択図】図2

Claim (excerpt)：

複数のp型エレメント及びn型エレメントが基板主面上に配置され、隣接するp型エレメント及びn型エレメントの端部がお互いに接続されて直列回路を形成する熱電変換素子の製造方法において、基材上に形成された感光性樹脂層に対してパターニング露光及び現像を行って、前記感光性樹脂層に所定パターンで配列された細孔を形成する工程と、無酸素雰囲気での加熱により前記感光性樹脂層を焼成してグラッシーカーボン層とする工程と、前記グラッシーカーボン層の細孔にp型またはn型の熱電材料を充填した後に焼成して前記p型エレメントとなる焼成体またはn型エレメントとなる焼成体を形成する工程と、前記グラッシーカーボン層を酸化処理により除去して前記焼成体を露出させる工程と、を備えることを特徴とする熱電変換素子の製造方法。

IPC (3)：

H01L 35/34 , H01L 35/32 , H01L 35/16

FI (3)：

H01L35/34 , H01L35/32 A , H01L35/16

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

特許第3225049号公報
米国特許6403874号公報
米国特許5955772号公報

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