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J-GLOBAL ID：200903048403892619

誘電体バリア放電ランプ装置

Inventor： 松野 博光 ,  五十嵐龍志 ,  菱沼 宣是 ,  岡本 昌士 ,  竹元 史敏
Applicant, Patent owner： ウシオ電機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994250200
Publication number (International publication number)：1996096769
Application date： Sep. 20, 1994
Publication date： Apr. 12, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 可視光でない真空紫外光を主に放出する誘電体バリア放電ランプが点灯状態が容易に識別可能で、安全性が高く、高信頼の誘電体バリア放電ランプ装置を提供する。【構成】 誘電体バリア放電ランプ1a〜1dと、前記誘電体バリア放電を行うための電源装置9a,9bとからなる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記誘電体バリア放電ランプから放射される200nm以上の波長の光を検出する検出手段14a〜14dと、予め設定した値と前記検出手段で検出した200nm以上の波長の光の強度の値とを比較する比較手段10a〜10dと、前記検出手段で検出した200nm以上の波長の光の強度が予め設定した値以下の場合にその状態を表示する表示手段40を設ける。

Claim (excerpt)：

外形が概略円筒状である外側管と内側管とを同軸に配置して、該両管の間に両端が閉じられた中空円筒状の放電空間を形成した放電容器に、誘電体バリア放電によってエキシマ分子を形成する放電用ガスが充填され、前記内側管の内壁の少なくとも一部に金属からなる内側電極が設けられ、前記外側管の外壁の少なくとも一部は、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性であって、かつ、前記誘電体バリア放電の誘電体を兼ねており、前記エキシマ分子から放射される光に対して光透過性である誘電体の少なくとも一部に導電性網状電極が設けられた誘電体バリア放電ランプと、前記誘電体バリア放電を行うための電源とからなる誘電体バリア放電ランプ装置において、前記誘電体バリア放電ランプから放射される200nm以上の波長の光を検出する検出手段と、予め設定した値と前記検出手段で検出した200nm以上の波長の光の強度の値とを比較する比較手段と、前記検出手段で検出した200nm以上の波長の光の強度が予め設定した値以下の場合にその状態を表示する表示手段を設けたことを特徴とする誘電体バリア放電ランプ装置。

IPC (2)：

H01J 65/04 ,  G21K 5/00