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J-GLOBAL ID：200903048417576728

セラミツク製静電チヤツク

Inventor： 長崎 浩一 ,  牛尾 雅樹
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991157207
Publication number (International publication number)：1993006933
Application date： Jun. 27, 1991
Publication date： Jan. 14, 1993
Summary：

【要約】【目的】セラミック製静電チャックの吸着面1aへのゴミ付着を防止し、ウェハ吸着時の平坦度を高めるとともに、電源を切った後の離脱性を高める。【構成】吸着面1aに凹部を形成して、被吸着物6との接触部を面積比10〜30%とするとともに、上記接触部の表面粗さ(Rmax)を0.8S以下とする。

Claim (excerpt)：

内部電極を有するセラミック板状体の上面を吸着面とするとともに、該吸着面に凹部を形成して、被吸着物との接触部の面積比を10〜30%とし、かつ上記接触部の表面粗さ(Rmax)を0.8S以下としたことを特徴とするセラミック製静電チャック。

IPC (2)：

H01L 21/68 ,  B25J 15/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭63-095644
  
• 特開平4-211146
  
• 特開平1-313954
  
• 特開平2-281744