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J-GLOBAL ID：200903048429422734
感放射線性樹脂組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998032412
Publication number (International publication number)：1999218924
Application date： Jan. 30, 1998
Publication date： Aug. 10, 1999
Summary：
【要約】【課題】 保存安定性が優れ、化学増幅型レジストとして、放射線に対する透明性が高く、しかもドライエッチング耐性、感度、解像度、パターン形状等に優れた感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感放射線性樹脂組成物は、(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基自体および/または該酸解離性基中の基R4 が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【化1】〔一般式(1)において、R1 、R2 およびR3 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示すか、あるいはR1 とR2 とが相互に結合して3〜6員環の環状アルキル基を示し、R4 は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕
Claim (excerpt)：
(A)酸解離性基として下記一般式(1)で表される基を有するアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基自体および/または該酸解離性基中の基R4 が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、および(B)感放射線性酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物。【化1】〔一般式(1)において、R1 およびR2 は相互に独立に水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示すか、あるいはR1 とR2 とが相互に結合して3〜6員環の環状アルキル基を示し、R3 は水素原子または炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示し、R4 は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基を示す。〕
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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