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J-GLOBAL ID：200903048455742143

多層膜反射鏡

Inventor： 芳賀 恒之 ,  栗原 健二 ,  木下 博雄 ,  鳥居 康弘 ,  溝田 勉
Applicant, Patent owner： 日本電信電話株式会社
Agent (1)： 秋田 収喜
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991251143
Publication number (International publication number)：1993089818
Application date： Sep. 30, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】多層膜反射鏡となる多層膜における金属元素の結晶粒界による粗さを低減する。【構成】 互いに屈折率が異なる2種の物質を交互に蓄積した多層構造を有する多層膜反射鏡において、前記多層構造の各層のうちの一層は高融点な遷移金属元素の合金からなり、該合金の組成比は共晶反応が得られる共晶点付近の組成とする。また、前記合金の成分として、遷移金属元素のうち白金属元素を含む。また、前記合金の成分として、遷移金属元素に加え、共晶材料として半金属元素を含む。また、全反射臨界角以下の斜入射における反射を利用した全反射反射鏡において、前記合金層を反射面とする。

Claim (excerpt)：

互いに屈折率が異なる2種の物質を交互に蓄積した多層構造を有する多層膜反射鏡において、前記多層構造の各層のうちの一層は高融点な遷移金属元素の合金からなり、該合金の組成比は共晶反応が得られる共晶点付近の組成とすることを特徴とする多層膜反射鏡。

IPC (3)：

H01J 37/26 ,  G02B 5/08 ,  G02B 5/28

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-095400
  
• 特開平1-094300
  
• 特開昭61-095350