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J-GLOBAL ID：200903048474597600

自己検知型カンチレバー及び走査型プローブ顕微鏡装置による試料測定方法

Inventor： 白川部 喜春 ,  高橋 寛 ,  清水 信宏 ,  新井 正 ,  安室 千晃 ,  井上 明
Applicant, Patent owner： セイコーインスツルメンツ株式会社
Agent (1)： 林 敬之助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999159766
Publication number (International publication number)：2000346785
Application date： Jun. 07, 1999
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：

【要約】【課題】 自己検知型カンチレバーの歪検出素子から生じる熱による不要信号成分混入の問題を解決すること。【解決手段】 自己検知型カンチレバー1のカンチレバー本体3の表面に放熱部11を設ける。放熱部11は凸部10を多数設けたり、表面を黒色系統にしたり、熱伝導の良い材料にする。また、自己検知型のカンチレバー1を用いて試料表面100Aを測定するため、カンチレバー1の探針4を試料100にアプローチさせるアプローチ動作時には歪センサ20のバイアス電圧のレベルを熱変化信号の影響が実質的に無視できる程度にまで小さくしておき、アプローチ完了後は歪センサ20のバイアス電圧のレベルを測定のために必要な所要の歪検出感度が得られるように増大させて試料100の測定を行うようにした。

Claim (excerpt)：

走査型プローブ顕微鏡装置に用いる自己検知型カンチレバーにおいて、カンチレバー本体の表面に放熱部を設けたことを特徴とする自己検知型カンチレバー。

IPC (4)：

G01N 13/16 ,  G01B 21/20 ,  G01B 21/30 ,  G12B 21/02

FI (4)：

G01N 13/16 C ,  G01B 21/20 P ,  G01B 21/30 Z ,  G12B 1/00 601 A

F-Term (22)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD06 ,  2F069DD19 ,  2F069EE02 ,  2F069EE26 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG35 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM32 ,  2F069QQ05 ,  2F069RR09