Pat

J-GLOBAL ID：200903048510721690

測定・加工方法および測定・加工装置

Inventor： 細井 啓一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996158107
Publication number (International publication number)：1998002718
Application date： Jun. 19, 1996
Publication date： Jan. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 測定・加工雰囲気の均一性を確保しつつ、振動による測定・加工の精度低下を回避することができる測定・加工方法および測定・加工装置を提供する。【解決手段】 送風機201により均一性を高めた雰囲気中で測定制御部100による測定を行う測定方法において、パターン1Aの座標を測定する直前に送風機201の送風能力を低下させ、これにより測定制御部100に与える振動を低減する。

Claim (excerpt)：

送風手段により均一性を高めた雰囲気中で測定手段による測定を行う測定方法において、前記送風手段により測定雰囲気の均一性を高めた後、前記測定手段による測定の直前に前記送風手段の送風能力を低下させ、前記送風手段による振動の発生を抑制した状態において測定を行うことを特徴とする測定方法。

IPC (5)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  G01D 21/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68

FI (5)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  G01D 21/00 M ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/68 F