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J-GLOBAL ID：200903048510841695
カンチレバーチップホルダー
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993309419
Publication number (International publication number)：1995159422
Application date： Dec. 09, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：
【要約】【目的】カンチレバー先端の振動のみを高精度に検出することができるカンチレバーチップホルダーを提供する。【構成】支持部12と、その基端部が支持部12によって支持された板材(即ちシム)14と、この板材14の先端部下面に設けられたカンチレバーチップ16と、板材14の先端部上面に設けられ、所定の電圧を印加することによって、板材14の先端部を所定方向に振動させる振動部材18と、支持部12と板材14との間に介在され、板材14の先端部で発生した振動が支持部12に伝達されないように、上記振動を減衰させる振動減衰素材20とを備えている。
Claim (excerpt)：
支持部と、前記支持部によって支持された板材と、この板材上に設けられたカンチレバーチップと、前記板材上に設けられ、所定の電圧を印加することによって、前記板材を所定方向に振動させる振動部材と、前記支持部と前記板材との間に介在され、前記板材から発生した振動が前記支持部に伝達されないように、上記振動を減衰させる振動減衰素材とを備えていることを特徴とするカンチレバーチップホルダー。
IPC (4)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01J 37/28
