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J-GLOBAL ID:200903048526069143

セラミックグリーンシートの剥離方法とその装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 大田 優
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996241330
Publication number (International publication number):1998064773
Application date: Aug. 23, 1996
Publication date: Mar. 06, 1998
Summary:
【要約】【課題】製造工程が多く、接着剤や治具等の多くの器材を必要とするうえ、セラミックグリーンシートに変形や歪みを生じやすかった。【解決手段】キャリアシート30上に形成されたセラミックグリーンシート40を所定の寸法形状に切り取ってキャリアシート30から剥離する方法において、セラミックグリーンシート40に所定の寸法形状の切れ目45を形成した後、セラミックグリーンシート40の切れ目45近くの内側を、空気室11を有する保持体10で吸着して固定した状態で、セラミックグリーンシート40の端部からキャリアシート30を引き剥がす。
Claim (excerpt):
キャリアシート上に形成されたセラミックグリーンシートを所定の寸法形状に切り取って該キャリアシートから剥離するセラミックグリーンシートの剥離方法において、セラミックグリーンシートを貫通して所定の寸法形状に切り取る切れ目を、キャリアシート上のセラミックグリーンシートに形成した後、セラミックグリーンシートの該切れ目直近の内側の部分を、空気室を有する保持体で吸着して固定した状態で、該セラミックグリーンシートの端部からキャリアシートを徐々に引き剥がすことを特徴とするセラミックグリーンシートの剥離方法。
IPC (3):
H01G 13/00 391 ,  H01F 41/04 ,  H01G 4/12 364
FI (3):
H01G 13/00 391 Z ,  H01F 41/04 B ,  H01G 4/12 364
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)
  • 特開平3-297117
  • 特開平1-239909

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