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J-GLOBAL ID：200903048538012295

プラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成法

Inventor： 有本 浩延 ,  大福 健司
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 高田 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992290304
Publication number (International publication number)：1994139922
Application date： Oct. 28, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 この発明は、バリアリブを高精度に形成できる作業性の良いバリアリブ形成方法を得る事を目的とする。【構成】 パターンマスクを介して感光性有機フィルムを露光し、現像して所定のパターンを形成した後に熱処理を行い、しかる後、パターン間に黒色ガラスペーストを埋め込み低温乾燥させ、バリアリブの形状を保持するための保護材を塗布し、外力に対するバリアリブの形状の保護を行い、さらに有機フィルムとガラスペースト(バリアリブ)との密着力を弱める働きをさせる。その後表面洗浄、感光性有機フィルム剥離、焼成、洗浄の各処理を順次行うようにしたものである。さらに、バリアリブの形状保護材として100°C以下の温度では固化し、それ以上の温度では液体であるパラフィンやアクリル樹脂等を用いたものである。

Claim (excerpt)：

微小な間隙をもって相対する平面板上にそれぞれに対面して複数の電極をマトリクス状に整列配置し、前記対面電極へ選択的に電圧を印加し、前記間隙に気密封入した発光ガスを発光放電させ、情報を表示するプラズマディスプレイにおいて、前記電極を配置した何れかの平面板上に均一厚みの感光性有機フィルムを貼付し、パターンマスクを介して感光性有機フィルムを露光した後、現像して電極及びバリアリブを形成しない部分にのみ感光性有機フィルムが残るようにパターンを形成した後熱処理を行い、さらにアセトン、IPA等の中性溶剤若しくは弱アルカリ溶液に浸せきし、しかる後、前記パターン間に黒色ガラスペーストを塗布、乾燥させ、バリアリブ形状維持のための剥離保護剤を塗布し、表面洗浄の後、前記感光性有機フィルムを感光性有機フィルム剥離により剥離除去し、焼成の各処理を順次行ってバリアリブを形成することを特徴とするプラズマディスプレイのバリアリブ形成方法。