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J-GLOBAL ID：200903048549187836

流量制御フイルタ及びその駆動方法

Inventor： 田茂井 浩一
Applicant, Patent owner： 関西日本電気株式会社
Agent (1)： 江原 省吾
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991247198
Publication number (International publication number)：1993076711
Application date： Sep. 26, 1991
Publication date： Mar. 30, 1993
Summary：

【要約】【目的】 メッシュ状のフィルタ部(10)の網目(11c)の大きさを容易に変化できるような流量制御フィルタ及びその駆動方法を提供する。【構成】 2枚のメッシュ状のフィルタ部(10)を摺動可能に重合することによって流量制御フィルタを構成し、各フィルタ部(10)に圧電アクチュエータ(20)を接続する。流量制御フィルタの網目(11c)の大きさは、圧電アクチュエータ(20)が数μm伸長することによって、微細に変化する。

Claim (excerpt)：

メッシュ状のフィルタ部の網目の大きさを圧電アクチュエータによって変化させ、その流量を制御することを特徴とする流量制御フィルタの駆動方法。