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J-GLOBAL ID：200903048598444186
制御装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994042458
Publication number (International publication number)：1995253804
Application date： Mar. 14, 1994
Publication date： Oct. 03, 1995
Summary：
【要約】【目的】 半導体露光装置やハードディスクのサーボライタ等の位置制御や速度制御に好適な高性能なH∞制御技術を提供すること。【構成】 PID補償器に代表される古典制御技術における直列補償器をループシェーピングの周波数重みとすることによって、従来の古典制御における設計技術を継承し、かつ古典制御技術では実現が難しかったサーボ帯域内に制御性能上問題となるような制御対象の振動モードが存在する場合にも高性能な制御系を実現する。また、定数行列重みを有する一般化プラントから得られるロバスト安定化補償器を用いることによって、従来の古典制御技術では実現が難しかったサーボ帯域内に制御性能上問題となるような制御対象の振動が存在する場合にも高性能な制御系を実現する。
Claim (excerpt)：
被制御物体を駆動する駆動手段と、前記被制御物体の移動状態を観測する状態観測手段と、前記被制御物体に対する状態目標値を生成する目標値生成手段と、前記状態観測手段による状態観測信号と前記目標値生成手段による状態目標値によって前記駆動手段への制御信号を生成するロバスト安定化補償手段と、前記ロバスト安定化補償手段による前記被制御物体の制御系に対して試験信号を発生して加えるための試験信号発生手段と、前記試験出力信号を検出するための試験出力信号検出手段と、前記試験出力信号を用いて前記安定化補償手段のパラメータを演算するための演算手段と、前記演算手段での演算に基づいて前記ロバスト安定化補償手段のパラメータを変化せしめるパラメータ可変手段とを有することを特徴とする制御装置。
IPC (3)：
G05B 13/02
, G05B 13/04
, G05D 3/12 305
