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J-GLOBAL ID：200903048608185117

圧電/電歪デバイスセットの検査方法

Inventor： 駒澤 正人 ,  八田 哲也 ,  根萩 隆智
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 渡邉 一平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004253445
Publication number (International publication number)：2006074878
Application date： Aug. 31, 2004
Publication date： Mar. 16, 2006
Summary：

【課題】製品としての実駆動をさせることなく、高い精度で、且つより短い時間で圧電/電歪デバイスセットを検査し得る方法を提供すること。【解決手段】圧電/電歪体と2以上の電極とを具備する圧電/電歪デバイスが、列状に、複数配設された圧電/電歪デバイスセットの検査方法の提供による。本検査方法は、圧電/電歪デバイスセットに含まれる個々の圧電/電歪デバイスの2以上の周波数比FRnと、圧電/電歪デバイスセット内の基準点から個々の圧電/電歪デバイスまでの距離と、の関係にかかる2以上の回帰直線の傾きtFRnにより、圧電/電歪デバイスセットに含まれる個々の圧電/電歪デバイスの変位量と、圧電/電歪デバイスセット内の基準点から個々の圧電/電歪デバイスまでの距離と、の関係にかかる回帰直線の傾きを予測するところに特徴がある。【選択図】なし

Claim (excerpt)：

圧電/電歪体と2以上の電極とを具備する圧電/電歪デバイスが、列状に、複数配設された圧電/電歪デバイスセットの検査方法であって、 圧電/電歪デバイスセットに含まれる個々の圧電/電歪デバイスを振動させたときの周波数特性をそれぞれピックアップして、個々の圧電/電歪デバイスにおける1次の共振周波数F1と2以上の高次のn次共振周波数Fnとを得て、更にそれらにより求められる個々の圧電/電歪デバイスにおける2以上の周波数比FRn(FRn=Fn/F1)を求め、 圧電/電歪デバイスセットに含まれる個々の圧電/電歪デバイスの2以上の周波数比FRnと、圧電/電歪デバイスセット内の基準点から個々の圧電/電歪デバイスまでの距離と、の関係にかかる2以上の回帰直線の傾きtFRnにより、圧電/電歪デバイスセットに含まれる個々の圧電/電歪デバイスの変位量と、圧電/電歪デバイスセット内の基準点から個々の圧電/電歪デバイスまでの距離と、の関係にかかる回帰直線の傾きを予測する圧電/電歪デバイスセットの検査方法。

IPC (3)：

H02N 2/00 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22

FI (3)：

H02N2/00 B ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 駆動装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-264085   Applicant：ミノルタ株式会社