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J-GLOBAL ID：200903048618064776

橋かけ環式アルキル基を有するスルホニウム塩化合物、光酸発生剤、それを含有する感光性樹脂組成物、およびそれを用いたパターン形成方法

Inventor： 岩佐 繁之 ,  中野 嘉一郎 ,  長谷川 悦雄
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 京本 直樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994162244
Publication number (International publication number)：1996027102
Application date： Jul. 14, 1994
Publication date： Jan. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 波長が220nm以下の遠紫外線に使用可能な光酸発生剤、それを含有する感光性樹脂組成物、およびパターン形成方法を提供する。【構成】 一般式(I)で表されるスルホニウム塩化合物であって、R1 、R2のうち少なくとも一つは橋かけ環式炭化水素基を有するアルキル基もしくは単環式アルキル基、残りが直鎖状、分岐状あるいは単環式アルキル基であって、R3はβ位にオキソ基を有する単環式アルキル基もしくはβ位にオキソ基を有する橋かけ環式アルキル基であり、Y ̄は対イオンを表す。【化1】

Claim (excerpt)：

一般式(I)【化1】(但し、Y ̄は対イオンであり、R1 はノルボルニル基、アダマンチル基、もしくはβ-オキソノルボルナン-2-イル基、R2 はメチル基、R3 はβ-オキソシクロヘキシル基もしくはシクロヘキシル基)で表される橋かけ環式アルキル基を有するスルホニウム塩化合物。

IPC (6)：

C07C381/12 ,  C09K 9/02 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/039 501 ,  H01L 21/027 ,  C08L101/12 LTB

FI (2)：

H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 529