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J-GLOBAL ID：200903048620382327
異物検査装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991214905
Publication number (International publication number)：1993072145
Application date： Aug. 27, 1991
Publication date： Mar. 23, 1993
Summary：
【要約】【目的】光強度の補正をより短時間で行い、安定した検出感度で測定する。【構成】基準散乱光を発生させる基準試料13と、基準光を検知する光検知器10と被測定試料7とを同一面上になるようにステージ8上に配置し、この基準試料13と光検知器10から得られる光強度値を記憶する記憶部12と、測定に使用する光の強度及び被測定試料からの散乱光の強度と前記基準値と比較し、被測定試料13からの散乱光を入光する光電変換素子2の感度を補正する制御部11とを設け、常に光検出感度を監視・補正を行っている。
Claim (excerpt)：
被測定試料を載置するステージと、被測定試料面に光を投射する発光部と、前記被測定試料より反射する散乱光を捕捉する光電変換素子と、この光電変換素子の出力値により付着する異物の大きさを判定するサイズ変換回路とを有する異物検査装置において、前記ステージに前記測定試料と同一面に配置されるとともに前記発光部の光を検知する光検知部及び標準粒子が付着される基準試料と、この光検知部及び基準試料から得られる光強度の基準値を記憶する記憶部と、前記発光部の光及び前記被測定試料からの散乱光の強度と前記基準値と比較し、前記光電変換素子の感度を調整する制御部とを備えることを特徴とする異物検査装置。
IPC (4)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G03F 1/08
, H01L 21/66
