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J-GLOBAL ID：200903048627307355

検査装置

Inventor： 芳賀 一実
Applicant, Patent owner： 有限会社ニュークリエイション
Agent (1)： 落合 稔 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993354365
Publication number (International publication number)：1995198620
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Aug. 01, 1995
Summary：

【要約】【目的】 試料表面の状態が実時間でしかも正確に観測できる検査装置を提供することを目的としている。【構成】 点光源2からの照射光を平行光束として試料表面4aに導くとともに、試料表面4aから戻って来た反射光を集束する凹面反射鏡3と、凹面反射鏡3の後像空間焦平面に対応する位置またはその近傍に配設された開口絞り6とを備える。

Claim (excerpt)：

点光源からの照射光を平行光束として試料表面に導くとともに、その試料表面から戻って来た反射光を集束する凹面反射鏡と、その凹面反射鏡の後像空間焦平面に対応する位置またはその近傍に配設された開口絞りとを備える検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G02B 27/54 ,  H01L 21/66

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 翼周囲流れの解析実験装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-130905   Applicant：石川島播磨重工業株式会社