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J-GLOBAL ID：200903048656882393

固体撮像装置

Inventor： 能見 菜穂子 ,  中村 信男 ,  松長 誠之
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992348275
Publication number (International publication number)：1994204450
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：

【要約】【目的】 セルサイズの縮小に伴う取扱い信号電荷量の低下を抑制することのできる積層型の固体撮像装置を提供すること。【構成】 Si基板10上に複数の蓄積ダイオード12,複数の信号電荷読み出しゲート14a及び複数本の垂直CCDを2次元的に配列し、かつ最上部に蓄積ダイオード12に電気的に接続された画素電極18が形成された固体撮像素子チップと、この固体撮像素子チップ上に積層された光導電膜21、この光導電膜21上に形成された透明電極22とを備えた固体撮像装置において、蓄積ダイオード12を、各垂直CCDに対し転送方向に沿ってそれぞれ複数個設けると共に、転送方向と直交する一方向にそれぞれ複数個設け、かつ転送方向と直交する方向に隣接する蓄積ダイオード121 ,122 間に転送電極16を設けたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

半導体基板上に複数の信号電荷蓄積ダイオード,複数の信号電荷読み出し部及び複数本の信号電荷転送部を2次元的に配列し、かつ最上部に信号電荷蓄積ダイオードに電気的に接続された画素電極が形成された固体撮像素子チップと、この固体撮像素子チップ上に積層された光導電膜と、この光導電膜上に形成された透明電極とを備えた固体撮像装置において、前記信号電荷蓄積ダイオードは、前記各信号電荷転送部に対し転送方向に沿ってそれぞれ複数個設けられると共に、転送方向と直交する一方向にそれぞれ複数個設けられ、かつ転送方向と直交する方向に隣接する信号電荷蓄積ダイオード間に転送電極を設けてなることを特徴とする固体撮像装置。

IPC (2)：

H01L 27/148 ,  H04N 5/335

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平3-129771
  
• 特開昭63-078568
  
• 特開昭55-160477