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J-GLOBAL ID：200903048681096122
分注装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
吉田 研二 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997325577
Publication number (International publication number)：1999160327
Application date： Nov. 27, 1997
Publication date： Jun. 18, 1999
Summary：
【要約】【課題】 分注装置において着脱自在に装着されるノズルチップの不良を検出する。【解決手段】 ノズルチップ12はチップ装着部10に着脱自在に装着される。分注ポンプ14とチップ装着部10との間には圧力検出部16が設けられる。チップ12を上方から下方へ下降させ、ノズルチップ12の先端を挿入穴26Aに対向又は挿入する。この際、先端に位置ずれがあれば、その先端が当接面26Bに対向又は衝突することになり、その状態をエア吐出又はエア吸引を利用して検出する。部材26としてはチップラックの上面板を利用することが可能である。各地点で衝突を検出することにより補正データを取得することも可能である。
Claim (excerpt)：
ノズル基部とそれに対して着脱自在に装着されるノズルチップとからなるノズルと、前記ノズルを昇降させるノズル移動機構と、を含む分注装置において、先端対向穴を有しその先端対向穴の周囲が先端対向面とされた位置ずれ検出用部材と、前記位置ずれ検出用部材の上方から前記ノズルを下降させ、前記ノズルチップの先端が前記先端対向面のレベルよりも微少距離だけ高い位置に到達した時点で前記ノズルの下降を停止させる制御を行う下降制御手段と、前記ノズルの停止状態でノズルからエアを吐出させ又はノズルによってエアを吸引し、その際のノズル内圧力の変化に基づいて前記ノズルチップの先端が前記先端対向穴及び前記先端対向面のいずれに対向しているかを判定する対向先判定手段と、を含むことを特徴とする分注装置。
FI (2)：
G01N 35/06 G
, G01N 35/06 C
