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J-GLOBAL ID：200903048681730875

透明導電膜の製造方法

Inventor： 臼井 隆寛
Applicant, Patent owner： セイコーエプソン株式会社
Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000032282
Publication number (International publication number)：2001226780
Application date： Feb. 09, 2000
Publication date： Aug. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】 透明導電膜を低温で簡便装置構成で製造する。【解決手段】 透明導電膜の材料の微粒子102をノズル101より基板103に向かって超高速で衝突させる。微粒子102のもつ高い運動エネルギーは瞬時に高い熱エネルギーに変換される。これにより微粒子102と基板103は結合する。さらに基板103と結合した材料微粒子に衝突する材料微粒子も結合し、膜104が形成できる。

Claim (excerpt)：

少なくとも透明導電材料の微粒子を作成する工程、前記微粒子をエアロゾル化する工程、前記エアロゾルを基板に吹きつける工程を含むことを特徴とする透明導電膜の製造方法。

IPC (5)：

C23C 24/00 ,  C01B 13/14 ,  H01B 5/14 ,  B01J 19/00 ,  G09F 9/30 339

FI (5)：

C23C 24/00 ,  C01B 13/14 ,  H01B 5/14 A ,  B01J 19/00 K ,  G09F 9/30 339 Z

F-Term (37)：

4G042DA01 ,  4G042DA02 ,  4G042DB24 ,  4G042DC01 ,  4G042DD04 ,  4G042DE03 ,  4G042DE16 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BB01 ,  4G075BD14 ,  4G075BD16 ,  4G075CA05 ,  4G075CA62 ,  4G075CA80 ,  4G075EC01 ,  4K044AB02 ,  4K044BA12 ,  4K044BB01 ,  4K044BB15 ,  4K044BC14 ,  4K044CA23 ,  4K044CA27 ,  4K044CA55 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094DA13 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB03 ,  5C094FB05 ,  5C094FB12 ,  5C094GB10 ,  5G307FA02 ,  5G307FB01 ,  5G307FC10