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J-GLOBAL ID：200903048695819127

熱電変換素子の作製方法

Inventor： 岡野 宏 ,  岸 松雄 ,  根本 裕彦
Applicant, Patent owner： セイコー電子工業株式会社
Agent (1)： 林 敬之助 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994178988
Publication number (International publication number)：1996046251
Application date： Jul. 29, 1994
Publication date： Feb. 16, 1996
Summary：

【要約】【目的】 バッチ処理および微細加工による作製方法を用いることで,小型化、量産化を可能とする。【構成】 熱電材料に凸部を作製する工程と、板をマスクで被う工程と、熱電材料と板を接合する工程と、熱電材料を分断し柱構造を作製する工程と、P型,N型の柱構造を張り合わせる工程とを有する。

Claim (excerpt)：

熱電変換材料によって構成する電子冷却もしくは熱発電を行う熱電変換素子の作製方法において、熱電材料に凸部を作製する工程と、板をマスクで被う工程と、熱電材料と板を接合する工程と、熱電材料を分断し柱構造を作製する工程と、P型,N型の柱構造を張り合わせる工程とを有することを特徴とする熱電変換素子の作製方法。

IPC (2)：

H01L 35/34 ,  H01L 35/32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開昭53-095588
  
• 特開平4-299585
  
• 特開昭58-064075
  
• 特開昭46-000773
  
• 特開昭61-168232