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J-GLOBAL ID：200903048787202827

EELS分析方法およびEELS分析装置

Inventor： 橋川 直人
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999301105
Publication number (International publication number)：2001124709
Application date： Oct. 22, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：

【要約】【課題】 元素分布および状態分布を二次元的に把握しやすく、また、一度の観測で多数の特定元素分布データを得ることができる、STEMを用いたEELS分析方法およびEELS分析装置を実現する。【解決手段】 試料表面の座標(X,Y)の各点でそれぞれ、EELSスペクトルデータを採取する。各EELSスペクトルデータのコア・ロス吸収端及びELNES吸収端を探索し、両者のエネルギー損失量の差Edを(X,Y,Ed)の分布像として表示する。Edは伝導帯の状態密度を反映するので、(X,Y,Ed)は状態分布像に相当する。また、各座標のコア・ロス吸収端のデータから元素同定して元素濃度Cを(X,Y,C)の分布像として表示する。各座標ごとにEELSスペクトルデータを採取しているので、一度の観測で複数の元素の濃度分布を計算することができる。

Claim (excerpt)：

試料の観測領域に電子線を照射しつつ走査する第1工程と、前記電子線が前記試料を透過することにより損失したエネルギーに対する前記電子線の強度分布をEELSスペクトルとして、前記観測領域を二次元的に分割した各微小領域ごとに採取する第2工程と、前記各微小領域ごとに、前記EELSスペクトルから所望の元素に対応したELNES吸収端を探索し、前記ELNES吸収端に対応する第1のエネルギー損失量を求める第3工程と、前記各微小領域ごとに、前記第1のエネルギー損失量と固定値たる第2のエネルギー損失量との差を求める第4工程と、前記各微小領域に対応させて前記差を二次元的に表示する第5工程とを備えるEELS分析方法。

IPC (3)：

G01N 23/06 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/256

FI (3)：

G01N 23/06 ,  H01J 37/22 502 H ,  H01J 37/256

F-Term (14)：

2G001AA03 ,  2G001BA13 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001DA09 ,  2G001DA10 ,  2G001EA05 ,  2G001FA06 ,  2G001FA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01