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J-GLOBAL ID：200903048848120403
振動子駆動機構および角速度センサ
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
松田 正道
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999367645
Publication number (International publication number)：2001183140
Application date： Dec. 24, 1999
Publication date： Jul. 06, 2001
Summary：
【要約】【課題】 駆動電圧の検出系への影響を解消し、高精度な角速度センサを実現する。【解決手段】 静電気が発生する、センサ側駆動電極103ほかを有する振動フレーム104と、センサ側駆動電極103と対向して配置された基板側駆動電極124ほかとを備え、基板側駆動電極124の各電極間には、接地電極210が配置されており、基板側駆動電極124には、振動フレーム104を静電気力により駆動させるための変動駆動電圧が印加されることを特徴とする振動子駆動機構。
Claim (excerpt)：
静電気が発生する、第1の周期的パターン部位を有する振動子と、前記振動子の、前記第1の周期的パターン部位と対向して配置された第2の周期的パターン部位を有する駆動電極部とを備え、前記第1の周期的パターン部位の一部(A1)と、該一部(A1)に対向する前記第2の周期的パターン部位の一部(B1)とは、所定の微小量(S1)だけずれて配置されており、前記第1の周期的パターンの他の一部(A2)と、該一部(A2)に対向する前記第2の周期的パターンの他の一部(B2)とは、所定の微小量(S2)だけずれて配置されており、前記第2の周期的パターン部位の各電極間には、接地電極が配置されており、前記微小量(S1)のずれと前記微小量(S2)のずれとは、前記振動子の振動方向を基準として互いに逆方向となっており、前記駆動電極部の第2の周期的パターン部位には、前記振動子を静電気力により駆動させるための変動駆動電圧が印加され、前記第2の周期的パターンの一部(B1)に印加される駆動電圧の変動と、前記他の一部(B2)に印加される駆動電圧の変動とは、互いに異なっていることを特徴とする振動子駆動機構。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (9)：
2F105AA02
, 2F105AA08
, 2F105BB01
, 2F105BB02
, 2F105BB20
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD11
