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J-GLOBAL ID:200903048858703300

応力センサ及びその製造法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002362020
Publication number (International publication number):2004191294
Application date: Dec. 13, 2002
Publication date: Jul. 08, 2004
Summary:
【課題】対となる電極2間に抵抗体3が配置された抵抗素子5へ付与された応力が、当該抵抗素子5を刺激することでその抵抗値が変化し、当該変化に基づき当該応力を検知する応力センサにおいて、S/N比を大きくする。【解決手段】抵抗体3が1以上の円形又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング穴1、及び/又は1以上の円弧状又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング用切欠き部7を有する。【選択図】 図1
Claim (excerpt):
対となる電極間に抵抗体が配置された抵抗素子へ付与された応力が、当該抵抗素子を刺激することでその抵抗値が変化し、当該変化に基づき当該応力を検知する応力センサにおいて、 前記抵抗体が1以上の円形又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング穴、及び/又は1以上の円弧状又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング用切欠き部を有することを特徴とする応力センサ。
IPC (1):
G01L1/18
FI (1):
G01L1/18 Z
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭56-088303
  • 特開昭53-114057
  • 特開昭56-088303
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