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J-GLOBAL ID：200903048885625833
複合基板材料の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
森本 義弘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993227650
Publication number (International publication number)：1995086106
Application date： Sep. 14, 1993
Publication date： Mar. 31, 1995
Summary：
【要約】【目的】 熱膨張率の異なるウエハよりなり、反りがなく、実用にたえる複合基板材料の製造方法を提供する。【構成】 両面が鏡面研磨された水晶板11が、前記水晶板11と異なる熱膨張率を有し、少なくとも一方の面が鏡面研磨されたガラス板12によりサンドイッチされた形で、清浄にされた鏡面同士が向かい合うように密着した後、加熱し、互いに強固に反りなく直接接合する。
Claim (excerpt)：
両面が鏡面研磨された第1の基板の一方の面に、前記第1の基板と異なる熱膨張率を有し、少なくとも一方の面が鏡面研磨された第2の基板を鏡面同士が向かい合うように密着し、前記第1の基板のもう一方の面に、前記第2の基板とほぼ同じ熱膨張率を有する材料からなり、少なくとも一方の面が鏡面研磨された第3の基板を同じく鏡面同士が向かい合うように密着した後、加熱し、互いに強固に直接接合することを特徴とする複合基板材料の製造方法。
IPC (3)：
H01L 21/02
, B32B 18/00
, C04B 37/04
