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J-GLOBAL ID：200903048911277016

アークイオンプレーティング装置

Inventor： 花栗 孝次 ,  辻 邦彦 ,  野村 誉 ,  玉垣 浩 ,  河口 博 ,  下島 克彦 ,  藤井 博文 ,  木戸 利也 ,  鈴木 穀 ,  井上 陽一
Applicant, Patent owner： 株式会社神戸製鋼所
Agent (1)： 梶 良之 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001113209
Publication number (International publication number)：2001348661
Application date： Mar. 15, 1994
Publication date： Dec. 18, 2001
Summary：

【要約】【課題】 ワークの効率的なハンドリングを行うことで極めて高い生産性を実現できる、ロッド状蒸発源を採用したAIP装置を提供する。【解決手段】 アークを発生させるロッド状蒸発源14と、該ロッド状蒸発源14を取り囲むように配設され表面に皮膜がコーティングされるワーク5とを有するアークイオンプレーティング装置において、前記ワーク5が前記ロッド状蒸発源14に対して相対的に前記ロッド状蒸発源14の軸方向に移動可能である。

Claim (excerpt)：

アークを発生させるロッド状蒸発源と、該ロッド状蒸発源を取り囲むように配設され表面に皮膜がコーティングされるワークとを有するアークイオンプレーティング装置において、前記ワークが前記ロッド状蒸発源に対して相対的に前記ロッド状蒸発源の軸方向に移動可能であることを特徴とするアークイオンプレーティング装置。

IPC (2)：

C23C 14/32 ,  C23C 14/56

FI (3)：

C23C 14/32 D ,  C23C 14/32 A ,  C23C 14/56 B

F-Term (6)：

4K029BD04 ,  4K029CA03 ,  4K029DB08 ,  4K029DD06 ,  4K029KA01 ,  4K029KA03

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平3-090566
  
• 特開平4-183863
  
• 特開平1-240660
  
• 特公昭53-028871