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J-GLOBAL ID：200903048913860363

Fe、Ni、Co、Inを含有するSnO2系焼結体

Inventor： 林 博光 ,  瀬戸 康博 ,  尾野 直紀 ,  行政 敏秋
Applicant, Patent owner： 三井金属鉱業株式会社
Agent (1)： 佐藤 一雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997283910
Publication number (International publication number)：1999116325
Application date： Oct. 16, 1997
Publication date： Apr. 27, 1999
Summary：

【要約】【課題】 SnO2系ターゲットの素材として十分な機械的、物理的特性を有する高密度のSnO2系焼結体を提供すること。【解決手段】 Feを100ppm以上7000ppm以下、Niを100ppm以上7000ppm以下、Coを20ppm以上7000ppm以下またはInを700ppm以上7000ppm以下のいずれか1種を含有するSnO2系粉末を大気雰囲気または酸素雰囲気で焼結した、密度が3.8g/cm3 以上であるSnO2系焼結体。Fe、Ni、Coを酸化物の形でFe、Ni、Coとして[Fe ppm]/100+[Ni ppm]/100+[Co ppm]/20≧1、かつそれらの合計が7000ppm以下含有するSnO2系粉末を大気雰囲気または酸素雰囲気で焼結した、密度が3.8g/cm3 以上であることを特徴とするSnO2系焼結体。

Claim (excerpt)：

Feを100ppm以上7000ppm以下含有するSnO2系粉末を焼結した、密度が3.8g/cm3 以上であることを特徴とするSnO2系焼結体。

IPC (4)：

C04B 35/457 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/08 ,  H01B 13/00 503

FI (4)：

C04B 35/00 R ,  C23C 14/34 A ,  C23C 14/08 D ,  H01B 13/00 503 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭50-018505
  
• 特開昭57-036811
  
• 特開昭57-183357
  
• 特開平4-228466