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J-GLOBAL ID：200903048945920635
大型基板用スピンドライヤ及びそれを用いた大型基板の乾燥方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
高田 守 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994224987
Publication number (International publication number)：1996086992
Application date： Sep. 20, 1994
Publication date： Apr. 02, 1996
Summary：
【要約】【目的】 大型基板を回転させて乾燥するスピンドライヤーにおいて、遠心力による破損が防止できる1000〜3000RPMの低速回転で大型基板を単独で回転させた時よりも大きな乾燥効率が得られ、シミあるいは乾燥ムラの発生がないようにする。【構成】 大型基板1を固定する回転台10、回転台10を回転するモータ、全面が平面状の面を有する円板21、この円板21の平面を大型基板1の表面と所定の面間距離に対向させる駆動機構25を備える。
Claim (excerpt)：
大型基板を固定する手段を有する回転台、この回転台を回転する手段、全面が平面状で上記大型基板の回転半径よりも大きな半径の円板、この円板の平面を上記大型基板の表面と所定の面間距離で対向させる手段を備えたことを特徴とする大型基板用スピンドライヤ。
IPC (6)：
G02F 1/13 101
, F26B 5/08
, G02F 1/1333 500
, G02F 1/136 500
, H01L 21/304 361
, H01L 21/304
