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J-GLOBAL ID：200903048974873778

高光線透過性防塵膜、その製造方法および防塵体

Inventor： 宮崎 哲也 ,  川崎 まゆみ ,  大野 隆夫
Applicant, Patent owner： 三井石油化学工業株式会社
Agent (1)： 柳原 成
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991267956
Publication number (International publication number)：1993043238
Application date： Oct. 16, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 柔軟性があって、g線、i線はもちろんのこと、エキシマレーザー等の短波長光を長期間照射しても光分解を起さず、かつ高い光線透過率を有する高光線透過性防塵膜を得る。またこのような防塵膜を短時間で簡単に製造する。【構成】 加水分解可能な有機金属化合物、金属酸化物の微粒子、金属水酸化物の微粒子、金属塩化物および金属硝酸塩からなる群から選ばれる少なくとも一種を含有するゾルを調製し、このゾルから膜状のゲルを形成し、得られたゲルを10°Cないし500°Cの温度で乾燥して高光線透過性防塵膜を製造する。このようにして得られた防塵膜に、さらに反射防止膜を形成してもよい。

Claim (excerpt)：

金属酸化物、金属水酸化物、有機基含有金属酸化物および有機基含有金属水酸化物からなる群から選ばれる少なくとも一種を含有する透明なゲルからなることを特徴とする高光線透過性防塵膜。

IPC (6)：

C01G 23/053 ,  C01B 33/12 ,  C01G 25/02 ,  G03F 1/14 ,  H01L 21/027 ,  B32B 15/08