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J-GLOBAL ID:200903048978658162

自動清掃装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 木内 光春
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991269244
Publication number (International publication number):1993103737
Application date: Oct. 17, 1991
Publication date: Apr. 27, 1993
Summary:
【要約】【目的】 クリーンルーム内の塵埃集積箇所であるコーナー部の清掃を自動的に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去することができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持できる自動清掃装置を提供することである。【構成】 パネル1を巾木5を介して床面4に固定する。この巾木5側面には吸込孔8を設ける。パネル1内部に吸込孔8と接続して真空配管3を配設し、点状部の真空配管を介して、中央集塵装置12に接続し、真空ポンプ13により吸引除塵する。この様な自動清掃装置により、コーナー部に塵埃が集積することがなくなり、クリーンルームの高い清浄度が維持される。
Claim (excerpt):
クリーンルーム内の壁面と床面により構成されるコーナー部の清掃を自動的に行う自動清掃装置において、クリーンルーム内側の壁面下部に通気自在に設けられた吸込孔と、吸込孔に接続される真空配管と、真空配管に接続される吸引装置と、吸引装置による吸引力を制御する調節手段と、を有することを特徴とする自動清掃装置。
IPC (3):
A47L 5/38 ,  E04H 5/02 ,  F24F 7/06
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開平1-215350
  • 特開平3-037070
  • 特開昭61-202028
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